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真空等离子清洗机
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发布时间: 2020-03-24 08:20
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等离子一般是利用激光、微波、电晕放电、热电离、弧光放电等多种方式将气体激发成等离子状态。常压等离子体的产生是通过在等离子喷枪内放电而实现的。将空气导入喷枪,通过放电使气体成为等离子体,再将产生的等离子体导向需要处理的制品的表面。喷枪结构将带电的电弧局限在喷嘴内,同时喷嘴也决定了所产生的等离子体的几何形态。

气体在高频低压下被激发,产生含有离子、激发态分子,自由基等多种活性粒子,通过化学或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的污染物去除(一般厚度为330nm),从而提高工件表面活性。对应不同的污染物,应采用不同的清洗工艺,根据选择的工艺气体不同,等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗

真空等离子清洗机

清洗介质为气体,主要有:氮气(N2),氩气(Ar),氢气(H2),氟化氮(NF3),四氟化碳(CF4),压缩空气等···;使用成本低,环保无污染,清洗过程只需几分钟完成,具有高效的特点


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